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[信息] 【TRANSDUCERS】靠体热和振动发电 NTT利用MEMS试制小型发电系统

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发表于 2008-12-6 04:37:57 | 显示全部楼层

【TRANSDUCERS】靠体热和振动发电 NTT利用MEMS试制小型发电系统



【日经BP社报导】

利用热和振动的集成化MEMS
  NTT微系统集成研究所和NTT尖端科技公司日前成功地在硅晶片上製作出不使用电池也能使便携终端得到电源的发电系统。在日前于南韩首尔召开的MEMS国际学术会议“TRANSDUCERS’05”上进行了技术发表(论文编号为2A2.2)。

  NTT等此次利用MEMS技术製成了可将体温产生的温差和动作产生的振动转换成能量的装置。将温差转换成能量的是由n型硅和p型硅及电极组成的热电元件(图)。可将电极温差作为电能提取出来。将振动转换成能量的是先相向配置2个梳状硅,再构成以此为电极的电容器的元件。由于是固定一方,而另一方则可以动,因此二者之间的距离因振动而变化后,电容器的静电电容就会变化。再将这种变化作为能量提取出来。

  2种发电装置集成在同一个硅晶圆上。使用了SOI晶圆,製造工艺在MEMS中属于普通手法的组合。在用BOX(氧化埋层)作为蚀刻停止层的同时,还利用基于牺牲层蚀刻(sacrifice layer etching)的表面微加工技术形成了可动部分。

  将振动转换成能量的元件为了提高能量转换效率,降低了可动部分的共振频率,从而便于它与人体动作所产生的振动发生共振。因此就用金(Au)构成了可动部分。由于材料特性,与用硅构成可动部分相比,可将共振频率降至1/5~1/4。(记者:三宅 常之)
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